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UBE RID

ドライエッチング排ガス処理装置
UBE RID

概要

半導体の製造過程で排出される各種の有害ガスを科学的・物理的に効率よく無害化する装置。
交換時期はインジケータ、ロードセル及びガス検知器でお知らせします。

特長

ドライ処理システム

まったくドライな処理システムですので、目詰まりがありません。

安全性が向上

ガスを化学反応させて処理しますので、発熱事故の恐れがありません(吸着による処理方法もあります)。運搬中の事故にも安全です。

処理量をデジタル表示

装置ご使用中でもロードセルにより処理量が一目で分かり、交換時期の判定が容易です。

ダブルの交換時期警報システム

交換磁器になるとロードセルのブザー・ランプでお知らせします。同時にインジケータでも交換時期の判定ができます。

圧力損失が少ない

構造上圧力損失が少なく、ポンプに負担がかかりません。

接続が簡単

排ガスの導入は、処理装置の機種により上または下のいずれかからでも可能で、大幅な配管工事が不要です。

適用範囲が広い

適用ガスは、BCl3、Cl2、SiCl4、HClなどの塩素系、HBr、BBr3などの臭素系、フッ素ガスの副生物( HF、SF4、SiF4、SOF2 )に対応可能です。

用途

ドライエッチング装置などの製造設備やシリンダーキャビネットから排出される有害ガスの無害化処理および粉体処理。

適用ガス

  • 塩素系(HCl、Cl2、BCl3、SiC4 など)
  • 臭素系(HBr、Br2、BBr3 など)
  • フッ素系の副生物(HF、SiF4、SF4 など)

原理

反応方式
処理剤
  • 金属酸化物。
  • ガスは金属酸化物と反応し金属ハロゲン化物として処理されます。
吸着方式
処理剤
  • 活性炭と添着活性炭。
  • ガスは物理吸着及び化学吸着で処理されます。
原理図

システム構成

システム構成図

処理能力

反応方式
機種 BCl3 HBr系
RID-1,2 20kg 15kg
RID-3,4 10kg 8kg
吸着方式
機種 BCl3 HBr系
RID-1,2 13kg 10kg
RID-3,4 7kg 5kg

インジケータ

1段方式

酸性ガスにて変色

2段方式

酸性ガス、塩素にて変色

*
インジケータは、0.1ppm程度のガスでも変色します。
*
ガスの種類等により、上記と別の色に変わることもあります。
インジケータ全体が変色すれば、処理剤が破過に達したとお考え下さい。

安全性

発熱

安全性

圧力損失

圧力損失

耐圧

本装置は、耐圧容器ではありませんので、0.1kg/cm2以上の圧力をかけないで下さい。

交換システム

交換システム イメージ
  • 処理剤が破過に達していない場合でも、ご使用後4ヶ月経過しましたら、装置の寿命及び安全性のため、処理剤を交換させていただきます。装置は返送から通常3週間以内でお届けします。
  • 廃処理剤は、産業廃棄物処理の免許を有する業者にて引き取り、処理しています。
    廃処理剤は、当社の関連会社であるユー・イー・エル(株)(山口県美祢市)で抜き出した時点で産業廃棄物扱いとなりますので、貴社での面倒な法的手続きは不要です。

保証期間および装置の寿命

  • 装置の寿命は、1年間と致します。
  • 装置の寿命は、使用状況により異なります。尚、配管部品等が腐食により劣化・破損した場合は、有償にて修理致します。

処理剤

反応方式
吸着方式

装置仕様 Equipment types

RID-1
RID-2
指示・警報器
ロードセル

収納ボックス

機能

  1. RID装置入り口での圧力監視ができます。
  2. 閉塞が起こった場合、警報を発し、バイパス経路が開き事故を未然に防ぎます。
  3. たとえガスリークがあっても、ボックス全体を吸引していますので、リーク事故を最低限にくい止めます。
  4. 温度センサー、インジケータ警報、ガス検知機の取付け、インターロック機能付も可能です。

シングルタイプ

シングルタイプ 収納ボックス

デュアルタイプ Dual Type

デュアルタイプ 収納ボックス

エッチングマシンを連続で運転したい場合にはデュアルタイプが便利です。自動切り替え、手動切り替えの機能は選択できます。ポンプの収納ゾーンも取付け可能です。

デュアルタイプ 図

お問い合わせ先

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