三塩化ホウ素 Boron trichloride
Overview 概要
半導体製造業界では、超LSIなどICが高集積化し高性能化するに伴い、超微細加工用のドライエッチングガスが要求されています。当社が日本で初めて国産化した三塩化ホウ素は、最高品質の高純度品であり、アルミニウム配線のドライエッチングガスとして最適です。
About 製法・商品について
- 当社の独自技術による新規製法です。(日本、米国、カナダ、EUなどの諸国で特許取得)
- ホウ酸を出発原料とするクローズドシステムで、極めて純度の高い三塩化ホウ素を製造することができます。
- 高い分析力で品質を保証します。
- 原料からの一貫生産であるため品質にブレがありません。
Quality 品質
純度 | 99.999%以上 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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不純物 |
不純物(代表的分析例、ppb)
※ホスゲン、塩素などの不純ガスは検出限界(ホスゲン0.2ppm、塩素1ppm)以下です。 |
Nature 性質
外観 | 無色透明な液体 |
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臭気 | 干し草様の臭い |
分子量 | 117.2 |
沸点(℃) | 12.4 |
融点(℃) | -107 |
液密度(kg/l) | 1.434(0 ℃) |
Others その他
用途 | 当社の三塩化硼素は最高品質であるため、アルミニウム配線のドライエッチングガスの他に、各種用途にも幅広く利用することができます。
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荷姿 |
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取扱い上の注意 |
燃焼性はありませんが、湿った空気中では激しく白煙を発して、ホウ酸と塩酸に分解します。 |