Boron trichloride

Overview

半導体製造業界では、超LSIなどICが高集積化し高性能化するに伴い、超微細加工用のドライエッチングガスが要求されています。当社が日本で初めて国産化した三塩化ホウ素は、最高品質の高純度品であり、アルミニウム配線のドライエッチングガスとして最適です。

About

  • 当社の独自技術による新規製法です。(日本、米国、カナダ、EUなどの諸国で特許取得)
  • ホウ酸を出発原料とするクローズドシステムで、極めて純度の高い三塩化ホウ素を製造することができます。
  • 高い分析力で品質を保証します。
  • 原料からの一貫生産であるため品質にブレがありません。

Quality

純度 99.999%以上
不純物

不純物(代表的分析例、ppb)

Ag < 0.2 Co < 3.0 Mg < 4.0 Pb < 0.2
Al < 2.0 Cr < 0.2 Mn < 1.0 Sb < 1.0
Bi < 5.0 Cu < 0.5 Mo < 0.5 Si < 200
Ca < 5.0 Fe < 20 Na < 2.0 Sn < 10
Cd < 0.1 K < 4.0 Ni < 3.0 Zn < 4.0

※ホスゲン、塩素などの不純ガスは検出限界(ホスゲン0.2ppm、塩素1ppm)以下です。

Nature

外観 無色透明な液体
臭気 干し草様の臭い
分子量 117.2
沸点(℃) 12.4
融点(℃) -107
液密度(kg/l) 1.434(0 ℃)

Others

用途 当社の三塩化硼素は最高品質であるため、アルミニウム配線のドライエッチングガスの他に、各種用途にも幅広く利用することができます。
  • アルミニウム配線のドライエッチングガス
  • CVD用ガス
  • 窒化ホウ素(BN)原料
  • 医薬・農薬用原料
  • 触媒用原料
荷姿
  • 内容積 10l、 47l
  • 充填量 10kg、50kg
取扱い上の注意

燃焼性はありませんが、湿った空気中では激しく白煙を発して、ホウ酸と塩酸に分解します。

Contact

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