高純度安水

概要

半導体デバイスの高集積化、微細化が進むにつれて、シリコンウェハーの洗浄用として使用されるアンモニア水の品質もさらに高純度、高品質のものが要求されています。当社の高純度アンモニア水は、原料精製から製造、充填までの厳しい品質管理の元で一貫生産されるため、金属イオン･パーティクルが極めて少ない高品質の商品です。

性質

化学的性質	無色透明の溶液で、強アルカリ性反応を呈します。 常温下でもアンモニアガスが揮散するので、特異な強い刺激臭を有し、加熱すれば更に激しく アンモニアガスが揮散します。 銅、ニッケル、亜鉛、スズおよびこれらの合金を腐食します。 酸あるいはハロゲンと接触すると激しく反応し、発熱します。
物理的性質	比重    （20℃）：    0.8980（28％）         0.8920（30％） 比熱   （20℃）：   1.0 cal/g-℃ 粘度   （20℃）：   1.29 cp 蒸気圧   （20℃）：   0.68 kg/cm2     （30℃）：   1.03 kg/cm2

特長

• 高純度・高品質
• 金属イオンが少ない
• パーティクルが少ない

荷姿

特殊ポリエチレン容器

• ドラム 170kg（200l）、90kg（100l）
• ポリ缶 18kg（20l）
• コンテナ 900kg（1m³）

取扱い上の注意

人体への影響	アンモニアガスが5～10ppmで臭気を感じます。 高濃度のアンモニアガスを吸引すると、せき、呼吸困難、嘔吐、肺水腫、気管支炎、肺炎となることがあります。 目に入ると角膜混濁、流涙等を起こし視力障害、失明となることがあります。 強いアルカリ性であるため皮膚、粘膜に対して刺激性、腐食性があります。 消化器に対しては胃腸障害を起こすことがあります。
人体の保護	取扱いには、保護メガネ、防毒マスク（アンモニアガス用）、ゴム手袋等の保護具を着用してください。 開栓時には顔を遠ざけ、栓を少し動かして内部のアンモニアガスを放出し、圧力がなくなってから栓を外してください。
応急処置	皮膚に付着した場合は、直ちに多量の水で洗浄してください。 目に入った場合は、直ちに多量の水で洗浄した後、眼科医の処置を受けてください。 鼻や喉が侵された場合は、2％のホウ酸水で鼻を洗い、うがいをしてください。
その他	漏れた場合は多量の水で洗い流してください。 漏れたガスに火気を近づけないでください。 消火は多量の水で行ってください。

貯蔵上の注意

• 容器を収容する建物は、十分に自然換気が行われるものか、換気装置を付けたものが望ましい。
• 過熱されるとアンモニアガスが発生するので、直射日光を避け、容器は常に40℃以下に保ってください。
• 容器に機械的損傷を与えないよう丁寧に扱ってください。
• 貯蔵および取扱い場所付近には、洗顔器、安全シャワー、水道栓等を設備しておいてください。

適用法規

毒物及び劇物取締法	劇物
労働安全衛生法	特定化学物質
危険物船舶運送及び貯蔵規則	腐しょく性物質

許容濃度

許容濃度	25ppm（18mg/m3）

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