概要
半導体・液晶製造工程で発生する固形分を、効率良く多量に捕集が可能です。配管メンテナンスの回数削減、稼働率のアップなど大きな効果が期待できます。
特長
- 1.大風量対応
- 100L/minから2,000L/minまで対応できます。
- 2.高性能フィルター
- 冷却とフィルターにより高い捕集能力を示します。99%以上。
- 3.操作が簡単
- カラム交換も容易です。
- 4.気密テスト機能
- 接続部の気密テストができます。
- 5.ご希望の仕様に
- 装置寸法、インターロック等はお客様の要望で設計が可能です。
仕様
- ガス流入量
100L/分~2,000L/分(型式により異なります)。 - 固形分としては塩化アルミ等があります。
フィルター構造
システム構成 200L/minタイプ
保証期間
保証期間は1年間と致します。
装置寸法
ユーティリティ
電気 | 100V、2.0KVA |
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窒素 | 3kg/cm2、5L/分 |
冷却水 | 1L/分 |
お問い合わせ先
製品についてのお問い合わせ
- UBE(株)
- 機能品事業部
機能品営業部 機能製品グループ - TEL:03-5419-6186
- FAX:03-5419-6263
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