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RID-TRAPPER

固形分含有系排ガス対応 固形分捕集装置
RID-TRAPPER

概要

半導体・液晶製造工程で発生する固形分を、効率良く多量に捕集が可能です。配管メンテナンスの回数削減、稼働率のアップなど大きな効果が期待できます。

特長

RID-TRAPPER

1.大風量対応
100L/minから2,000L/minまで対応できます。
2.高性能フィルター
冷却とフィルターにより高い捕集能力を示します。99%以上。
3.操作が簡単
カラム交換も容易です。
4.気密テスト機能
接続部の気密テストができます。
5.ご希望の仕様に
装置寸法、インターロック等はお客様の要望で設計が可能です。

仕様

  • ガス流入量
    100L/分~2,000L/分(型式により異なります)。
  • 固形分としては塩化アルミ等があります。

フィルター構造

フィルター構造

システム構成 200L/minタイプ

システム構成 200L/minタイプ

保証期間

保証期間は1年間と致します。

装置寸法

装置寸法

ユーティリティ

電気 100V、2.0KVA
窒素 3kg/cm2、5L/分
冷却水 1L/分

お問い合わせ先

製品についてのお問い合わせ