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高純度安水

高純度化学品・半導体製造用装置

概要

半導体デバイスの高集積化、微細化が進むにつれて、シリコンウェハーの洗浄用として使用されるアンモニア水の品質もさらに高純度、高品質のものが要求されています。当社の高純度アンモニア水は、原料精製から製造、充填までの厳しい品質管理の元で一貫生産されるため、金属イオン・パーティクルが極めて少ない高品質の商品です。

性質

化学的性質
  • 無色透明の溶液で、強アルカリ性反応を呈します。
  • 常温下でもアンモニアガスが揮散するので、特異な強い刺激臭を有し、加熱すれば更に激しく アンモニアガスが揮散します。
  • 銅、ニッケル、亜鉛、スズおよびこれらの合金を腐食します。
  • 酸あるいはハロゲンと接触すると激しく反応し、発熱します。
物理的性質
比重    (20℃):    0.8980(28%)
        0.8920(30%)
比熱   (20℃):   1.0 cal/g-℃
粘度   (20℃):   1.29 cp
蒸気圧   (20℃):   0.68 kg/cm2
    (30℃):   1.03 kg/cm2

特長

  • 高純度・高品質
  • 金属イオンが少ない
  • パーティクルが少ない

荷姿

特殊ポリエチレン容器

  • ドラム 170kg(200l)、90kg(100l)
  • ポリ缶 18kg(20l)
  • コンテナ 900kg(1m3

取扱い上の注意

人体への影響
  • アンモニアガスが5~10ppmで臭気を感じます。
  • 高濃度のアンモニアガスを吸引すると、せき、呼吸困難、嘔吐、肺水腫、気管支炎、肺炎となることがあります。
  • 目に入ると角膜混濁、流涙等を起こし視力障害、失明となることがあります。
  • 強いアルカリ性であるため皮膚、粘膜に対して刺激性、腐食性があります。
  • 消化器に対しては胃腸障害を起こすことがあります。
人体の保護
  • 取扱いには、保護メガネ、防毒マスク(アンモニアガス用)、ゴム手袋等の保護具を着用してください。
  • 開栓時には顔を遠ざけ、栓を少し動かして内部のアンモニアガスを放出し、圧力がなくなってから栓を外してください。
応急処置
  • 皮膚に付着した場合は、直ちに多量の水で洗浄してください。
  • 目に入った場合は、直ちに多量の水で洗浄した後、眼科医の処置を受けてください。
  • 鼻や喉が侵された場合は、2%のホウ酸水で鼻を洗い、うがいをしてください。
その他
  • 漏れた場合は多量の水で洗い流してください。
  • 漏れたガスに火気を近づけないでください。
  • 消火は多量の水で行ってください。

貯蔵上の注意

  • 容器を収容する建物は、十分に自然換気が行われるものか、換気装置を付けたものが望ましい。
  • 過熱されるとアンモニアガスが発生するので、直射日光を避け、容器は常に40℃以下に保ってください。
  • 容器に機械的損傷を与えないよう丁寧に扱ってください。
  • 貯蔵および取扱い場所付近には、洗顔器、安全シャワー、水道栓等を設備しておいてください。

適用法規

毒物及び劇物取締法 劇物
労働安全衛生法 特定化学物質
危険物船舶運送及び貯蔵規則 腐しょく性物質

許容濃度

許容濃度 25ppm(18mg/m3

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